Optoelectronics

光電科技

上海德硅凱氟光電科技有限公司,致力于成為國際一流的氟化物光學晶體及元器件供應商。公司建設國內首條8英寸 - 12英寸紫外級氟化鈣晶體生產線,實現國產光刻機關鍵材料的產業化,逐步形成“光學晶體生長 - 光學設計 - 光學加工 - 光學器件”的一站式服務能力。

項目背景

大尺寸、紫外級CaF2單晶是193nm DUV光刻機照明系統、投影物鏡系統、紫外光源等部分的核心元器件材料,是光刻機國產化"卡脖子”的關鍵材料。目前,紫外光刻級CaF2 晶體全部依賴進口。
研發團隊超60%人員具有碩士以上學歷。
項目曾獲02專項支持,并計劃列入國家"十四五”規劃。

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